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光学测量机

Opt-scope

TOKYO SEIMITSU 东京精密 3D白色干涉显微镜
Opt-scope具有0.01nm的高分辨率。从狭范围的微细粗糙度分析到广范围的起伏形状分析，可以广泛应用。以“非接触”且“短时间”的方式对工件形状的整个表面进行三维评价。

产品特点

3D 白光干涉显微镜 Opt 瞄准镜具有高分辨率。 高速、 广泛
3D 白光干涉显微镜 Opt 瞄准镜无论镜头放大倍率如何，在垂直方向上都具有 0.01 nm 的高分辨率，并且可以使用低放大倍率镜头测量纳米表面纹理，从而能够一次性高速测量大面积区域。 它以高重现性测量亚纳米表面粗糙度、透明度和高纵横比结构，这些都是激光显微镜和其他非接触式测量原理难以测量的。
新型号！ Opt-scope 的 NEXT 阶段更加灵活
NEX 平台型号 “Opt-scope NEX” 可灵活处理所有类型的工件。
阵容中新增了让您无压力工作的一体式安装 DX 类型和支持桌面安装的 SD 类型。
一体式安装型 DX 型
台式安装 SD 型
通过各种夹具组合与各种工件兼容
东京精密已经能够测量各种工件。利用我们在那里积累的经验，我们将提出适合您需求的工件夹持工具和对准夹具的组合。
大型工件的无切割测量
可以安装和测量现有型号无法实现的大型工件。例如，可以在直立位置测量直径为 300 mm 的砂轮，圆柱盖等箱形工件和凸轮轴等长工件也可以无切割方式设置在测量台上。 它减少了准备切割所需的工时，有助于节省劳动力。※ 最大有效载荷 96 公斤
高可扩展性，实现自动化和省力
它是一个高度可扩展的平台系统，由于可选择的底座和柱尺寸、测量段的宽垂直行程、柱的电动左右进给以及对 XY 电动平台的支持，可以通过多种方法实现自动化和节省劳动力。
与触笔高度相关
作为市场领导者，东京精密多年来一直在销售测针式表面粗糙度测量机，Opt-scope与测针在效果测量方面具有相关性。
更快的相机选项将扫描速度提高了 6 倍
根据准确性选择 2 种模式。 高速模式现在更快。
用于高速测量毫米形状的焦距变化测量功能
焦点变化测量功能是一个选项，可以测量毫米级的形状，包括陡峭的斜坡，这在白光干涉测量中是困难的，基于焦点变化显微镜，这在 ISO 25178-606 中被定义为一种测量方法，这是三维表面纹理的国际标准。通过将此功能与普通白光干扰测量相结合，单个 Opt 示波器单元可以满足更广泛的测量需求。
使用透明多层膜测量功能进行膜厚分析
光学长度为 1.5 μm 或更大的透明薄膜最多可堆叠 6 个（7 个界面），并且可以分析最外层的表面特性、每层的薄膜厚度和厚度分布。

评估和分析示例

Opt-scope
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