微细加工作为制造业一种精密的加工技术，广泛应用于电子、汽车、半导体、医疗等精密零部件的制造。随着工艺的不断发展，微细加工技术逐渐向微型化、复杂化方向延伸。

今天，山善为大家介绍在微细加工领域的领军企业——碌々ROKU-ROKU。已经成立120多年的碌々在微细加工领域深耕多年，有着非常丰富的经验，不断开发出创新性技术，并逐步实现终极的微细加工，受到广大客户的信赖和好评。

随着技术的不断迭代，碌々打造出了高精度高速小孔微细加工机MEGA系列，成为微细加工领域的畅销机器。如今，经过更新后的第七代MEGAⅦ横空出世，操作性得到了进一步改善，使用更加方便。

碌々MEGAⅦ 高精度微细加工机


高刚性基本构造

· 热对称框架构造

◆  针对环境变化有效地保持机床状态确保高刚性和规则性

◆  复原性的热对称基本结构

· 高刚性龙门结构

◆  立柱和横梁一体铸造的构造，兼备增加框架重量及加厚加强筋，确保衰减性同时实现最高水准等级的刚性

· 3点支撑式高刚性床身

◆  高级铸铁床身为箱形设计，彻底采用全面加强筋构造，绝对确保其常年高精度、高速定位能力。

严酷加工环境下也兼备压倒性基本刚性及稳定性

· 横梁上设置「强制散热风扇」

◆  强制性的排除滞留在机床内的热气，抑制其对立柱和鞍座等的热传递影响
·  抑制Y轴方向姿势变位

◆  X轴鞍座在横梁上滑动时，其重心一直处于滑轨之内

◆  通过与Advanced H.I.S控制的协同作用，极限最小化控制Y轴方向姿势变位

·  理想的轴结构

◆  X，Y轴在全加工区域内无悬空，各驱动轴单独分离构造，使得加工时无偏重心影响

油雾润滑式陶瓷滚珠轴承高转速主轴

·  最高主轴转速：40,000 min^-1、60,000 min^-1
·  主轴锥部规格：1/10 短锥（2面接触）
·  刀柄规格：HSK-E25 
·  追求极致动平衡，成功的将跳动精度控制在极限值。
·  可在最高转速下连续不停运行，有着信誉度极高的碌碌原装主轴；在最后的精加工面上，使用不同种类刀具的加工，实现了无接刀痕和台阶
·  适量润滑油量控制：采用向轴承部排出与其应对主轴转速的适量润滑油的润滑方式，排除过剩积油引起的微小温度变化因素
·  配备主轴定位功能，消除了主轴夹紧相位的变化，利用高精度化刚性攻丝功能（选配）可以进行攻丝加工。
·  新型夹紧方法“智能夹紧系统”消除了不平衡因素，提高了动态跳动精度

「高性能主轴结构图」

热分离系统「Advanced H.I.S控制」

·  主轴头内配有「冷却油循环强制式大范围冷却」
·  主轴外壳同时采用冷却油强制循环的双层冷却
·  采取防止向主轴外壳、滑体传热的措施，将X·Y轴方向的姿态变位量控制在极小化
·  在主轴壳套内及X轴横梁内装配「强制散热风扇」
·  强制排除机身内部的滞留热空气，防止横梁滑体和立柱热
·  主轴冷控箱的机身传感器采用“控热系统”控制
memo：「Advanced H.I.S」
Advanced Heat Isolation System（先进的热分离系统）的简称

追求具有完美追随性的超精密定位结构

·  X·Y·Z轴均采用「圆筒滚柱式精密导轨」

◆  抑制转动振动和提高径向刚性对追求切削面品质起到了巨大贡献

◆  将齿隙空转控制在极限的同时，顺畅的进给性能兼容超精密的定位能力，可长期保持各轴的直线精度

「超高精密圆筒滚柱式导轨面」

·  等级中是最大径，最短程的驱动用丝杆

◆  各轴丝杆的大径化为进给推力的提高起到了很大作用

◆  短程化的设计是针对指令值，实现了实际移动距离的完全追随性

◆  作为高精度微细加工机不可缺少的因素，两者成功兼顾

·  线性光栅尺反馈（选项）

◆  最高分辨率 0.002μm（2nm）

◆  根据全闭环方式对NC指令值的实际移动距离的完全对比，保证了高精度且稳定的定位性能

·  Z轴平衡气缸

◆  极大的减轻了Z轴伺服马达及进给丝杆的负担，确保了Z轴的流畅动作，优质加工面以及Z轴的精度

标准规格

碌々的设备一直活跃在半导体制造工艺领域，可以带来不同零部件的精密加工解决方案，了解更多信息，欢迎联系山善！